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HCS621GXY顯微鏡熱臺專為顯微鏡/光譜儀設計。此款冷熱臺可在-190℃ ~ 600℃范圍內控溫,同時允許光學觀察和樣品氣體環境控制。
熱臺上蓋與底殼構成一個氣密腔,可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。
此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。
功能特點:
| 適用于 顯微鏡/光譜儀 |
| -190℃~600℃ 可編程控溫(負溫需配液氮制冷系統) |
| 直徑26 mm帶通光孔的加熱區 |
| 在XY方向移動樣品的微分移動尺 |
| 可充入保護氣體的氣密腔(另有真空腔型號) |
| 可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK |
溫控參數:
| 溫度范圍 | -190℃ ~ 600℃(負溫需配液氮制冷系統) |
| 加熱塊材質 | 銀 |
| 傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制 |
| *大加熱/制冷速度 | +150℃/min (100℃時) -50℃/min (100℃時) |
| *小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min |
| 溫度分辨率 | 0.01℃ |
| 溫度穩定性 | ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) |
| 軟件功能 | 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線 |
光學參數:
| 適用光路 | 透射光路 和 反射光路 |
| 窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
| *小物鏡工作距離 | 5 mm *截面圖中WD |
| *小聚光鏡工作距離 | 11.5 mm *截面圖中CWD |
| 透光孔 | φ2 mm *截面圖中φVA |
| 上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm,*大視角±58° *截面圖中θ1 |
| 底部窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm,*大視角±19° *截面圖中θ2 |
| 負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結構參數:
| 加熱區/樣品區 | Ø26 mm *使用XY移動尺時樣品區由樣品襯底決定 |
| 樣品腔高 | 2.5 mm *樣品*大厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度 |
| 樣品襯底 | 默認為石英坩堝(內徑>9mm/厚0.5mm) *可根據用戶使用需求更換為其他 |
| 放樣 | 水平抽出上蓋后置入樣品 |
| 樣品XY移動尺 | 可從密封腔外移動樣品,分辨率10μm,行程10mm |
| 氣氛控制 | 氣密腔,可充入保護氣體 |
| 外殼冷卻 | 可通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近 |
| 安裝方式 | 水平安裝 或 垂直安裝 |
| 臺體尺寸/重量 | 159.7 mm x 86 mm x 22 mm / 500g |
配置列表:
| 基本配置 | HCS621GXY冷熱臺 、mK2000B溫控器 |
| 可選配件 | 冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統 、外殼循環水冷系統、、 真空系統(*用于真空型號) |
用于Instec溫控裝置:溫控配件
用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。
溫控配件系列:
| 安裝支架:用于將溫控裝置固定在用戶設備上 |
| mK2000B溫控器,含InstecAPP溫控軟件,溫控裝置必選 |
| LN2-SYS液氮制冷系統:液氮泵+液氮罐+液氮管線 |
| 外殼循環水冷系統,帕爾貼式溫控裝置必選 |
| MITO系列溫控聯用顯微鏡相機,含控制軟件 |
| LWDC2長工作距離聚光鏡 |
| 真空系統:包括真空泵+真空管路,用于真空型溫控裝置 |
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